凈化車間微生物的污染控制是比較困難的，原因在于微生物的無處不在，因此需要嚴(yán)格的管理，并限制人流物流。良好的除塵、防菌措施，例如：防塵服、防靜電設(shè)施等均是生物潔凈技術(shù)中十分重要的內(nèi)容。凈化車間微生物污染的控制，從生物潔凈技術(shù)的角度而言，有四個原則：1、對進(jìn)入凈化車間的空氣充分地進(jìn)行除菌或滅菌(如用高效濾器、電子自凈氣、臭氧發(fā)生器等)。2、使室內(nèi)微生物顆粒迅速而有效地吸收并排出室外(換氣次數(shù)及 的進(jìn)風(fēng)口與回風(fēng)口的設(shè)計)。3、不讓室內(nèi)的微生物粒子集聚和衍生(氣流組織形式及合格的凈化裝修)。4、防止進(jìn)入室內(nèi)的人員或物品散發(fā)細(xì)菌，如不能防止，則應(yīng)盡量限制其擴(kuò)散。在上述原則中：1和4兩項與除菌及滅菌的措施，操作及管理有關(guān)。而2和3兩項與室內(nèi)氣流組織換氣次數(shù)有關(guān)。良好的氣流組織可以使這兩項內(nèi)容得以完成。

以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程凈化車間除了對微粒的嚴(yán)格控制外，還對溫濕度的控制、照度微震等要求更嚴(yán)格，同時還要預(yù)防消除靜電影響。下面，勝熠達(dá)介紹電子凈化車間的設(shè)計要求。電子凈化車間的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當(dāng)生產(chǎn)工藝無具體要求時，其溫度可按20~26℃，相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國際ISO標(biāo)注接軌的中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB-50073，這類潔凈室的潔凈度等級1-9級，其中1-5級，氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速0.2-0.45m/s;6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50-60次/h;7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15-25次/h;8-9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10-15次/h。根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，電子制造廠萬級無塵車間內(nèi)的噪聲級：不應(yīng)大于65dB(A)1、電子制造廠無塵車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。2、電子制造廠凈化車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。3、電子制造行業(yè)萬級無塵車間的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的 大值。4、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。5、保證供給電子凈化車間內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。